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極紫外&軟X射線相機

昊量光電推出搭載 Gpixel GSENSE400 BSI Pulsar的scmos科學級相機型號，其擴展了xiJ 系列冷卻scmos相機，增加了適用于XUV和軟X射線成像的型號。

長期以來，恩斯特·阿貝定義的衍射極限成為了限制小物體分辨的天然障礙。為了克服這一限制，人們開發(fā)了 STED、STORM、PALM、TEM 等多種技術，采用了較好的照明和檢測技術。阿貝極限的原始含義是：粒子的波長越短，分辨率越高。因此解決圖像中小結構特征的可觀測性也更高。這一基本定律適用于可見光和電磁波譜的所有光子。其中包括含有高能量的極紫外線 (XUV)、倫琴輻射 (Xray) 和電子的光子。

當衍射極限仍然有效時，使用XUV（CWL：13.5nm）、軟X射線和高能電子，可以將分辨率提高得更高。從而能夠解決生物過程（細胞、人體）以及材料中的精細結構特征和動態(tài)。

為了滿足這些需求并發(fā)揮XUV/軟Xray的巨大潛力，昊量光電在科學相機產品組合極紫外/軟X射線相機中添加了新的MJ042MR-GP-P11-BSI-UV型號。

該型號配備了新型Gpixel GSENSE400BSI-UV（PulSar）sCMOS傳感器，結合了珀爾帖冷卻和USB3接口。攝像機機身通過標準 DN 63 CF 真空法蘭進行擴展。可根據(jù)需要提供其他法蘭格式。通過使用新的 Pulsar 傳感器，光譜范圍從紅外線 (IR)、可見光 (VIS) 和紫外線 (UV) 擴展到軟X射線范圍，波長范圍覆蓋從0.5到1000nm。

極紫外軟X射線相機特點：

4.2 Mpix，2“ 背照式紫外線傳感器
sCMOS傳感器 - Gpixel GSENSE400BSI Pulsar
能夠檢測真空紫外光 - VUV
能夠檢測極紫外光 - EUV
能夠檢測軟X射線光子
80 至 1000 eV - 量子效率接近 100%
線性度大于 99.5%
采用Peltier TEC冷卻的科學CMOS相機
48 Fps with USB3 interface 48 Fps，帶 USB3 接口

極紫外/軟X射線相機波長敏感度范圍：

軟X射線	0.2 - 12 納米 (0.1 – 5KeV)
極紫外 (XUV)、極紫外 (EUV)	10 - 124 納米 (<0.1Kev @ 連續(xù)波:13.5納米)

GSENSE 400 BSI Pulsar 傳感器的量子效率圖

極紫外&軟X射線相機優(yōu)點：

優(yōu)勢：	總體優(yōu)勢：
快速圖像采集和高幀率 - 48 Fps 袖珍的簡單的USB接口珀爾帖冷卻——溫度穩(wěn)定性（銦墊片等）自定義傳感器計時改進的傳感器室，無排氣，保護電子設備	量子效率高達 99% HDR 模式下的動態(tài)范圍高于 95 dB 低噪音約 1.7 e- 高滿阱容量-高達128K e- 提高軸向-橫向分辨率真空兼容性（暴露的傳感器）

極紫外&軟X射線相機應用

這種探測器的應用范圍十分廣泛，涵蓋天文學、納米技術以及工業(yè)和生命科學等各個領域。

業(yè)界需要新技術來通過相干衍射成像技術來縮小電子元件的尺寸并提高其質量。

另一方面，科學需要這種輻射來克服衍射極限并解決更小的結構特征。

對于這兩者，昊量光電開發(fā)了一種在軟 X 射線光譜和斷層掃描中具有高靈敏度的新型相機。

此外，許多化學氣體以及生物相關分子在軟X射線和紫外線范圍內具有光譜特征。

因此，這些相機非常適合可視化和量化平面中的中尺度生物學和3D圖像重建以及其他應用，例如：

XANES	X-PEEM	STXM	EUV lithography	NEXAFS	UVRR
X射線吸收近邊結構光譜	X射線光發(fā)射電子顯微鏡	掃描透射 X 射線顯微鏡	半導體計量	近邊X射線吸收精細結構	紫外共振拉曼光譜
高光譜	法醫(yī)	太陽成像	相關顯微鏡	添加劑制造	FIB/SEM：3D 成像
軟X射線水窗層析成像	大氣化學/成分	XUV 疊層成像和光譜分析	電子檢測成像	相襯成像

Specifications: 規(guī)格：
Resolution 分辨率	4.2 MP 2048 x 2048 像素
Frame rates 幀速率	48 fps @ 12bit (STD), 24 fps @ 16bit (HDR)
Sensor model 傳感器型號	Gpixel GSENSE400 BSI Pulsar
Sensor type 傳感器類型	科學 CMOS （sCMOS）背面照明
Sensor size 傳感器尺寸	2"
Sensor active area 傳感器有效區(qū)域	22.5 x 22.5 (31.8 mm Diagonal)
Spectral range 光譜范圍	80 - 1000 eV VUV、EUV 和軟 X 射線
Readout method 讀出方式	Rolling shutter 卷簾快門
Pixel size 像素大小	11 μm
Digitization 數(shù)字化	2x 12 (16 Bit from API)
Data interface 數(shù)據(jù)接口	USB3 Gen1 Type-C connector
Dynamic range 動態(tài)范圍	95 dB (HDR)
Full Well Capacity 滿阱容量	80 000 e-
dark current 暗電流	under 12e/px/s @ 0°C
Readout noise typ. 讀出噪聲典型值	2 e-
exposure range 曝光范圍	19.8 μs to 2147 s
I/O Ports I/O 端口	1 GPI and 1 GPO Isolation potential 50VDC
Power consumption 功耗	3.5 W - 16 W with Cooling
Lens mount 鏡頭卡口	DN 100 CF vacuum flange mechanics modification
Dimensions WxHxD 尺寸：寬x高x深	114 x 114 x 68 mm
Cooling 冷卻	Up to -25°C (with Peltier TEC)

極紫外/軟X射線相機

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