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213nm深紫外單縱模激光器

簡要描述：213nm深紫外單縱模激光器，，適用于光學計量、213納米光學系統(tǒng)校準或高功率ArF準分子激光器帶寬控制等應用。

產(chǎn)品型號：

廠商性質(zhì)：代理商

更新時間：2025-12-05

訪問量：165

品牌	昊量光電	產(chǎn)地類別	進口
應用領域	綜合

213nm深紫外單縱模激光器：

德國xiton photonics公司是二極管泵浦固體激光器和非線性光學器件的專家。可以開發(fā)和制造幾乎任何所需波長的可靠激光系統(tǒng)，擁有20多年的激光器研發(fā)經(jīng)驗，重點開發(fā)深紫外和紫外激光器。

IXION SLM 213是一款單縱模全固態(tài)激光系統(tǒng)，適用于光學計量、213納米光學系統(tǒng)校準或高功率ArF準分子激光器帶寬控制等應用。光譜帶寬接近其理論傅立葉極限。該激光器在M2< 1.6的衍射受限光束中提供持續(xù)時間為6 - 8ns的短輸出脈沖，重復頻率在1至15 kHz之間。在213nm處，平均輸出功率高達100mw，具有超穩(wěn)定的脈沖走線和超過1.5 m的高相干長度，這是傳統(tǒng)激光器無法實現(xiàn)的。

213nm深紫外單縱模激光器參數(shù)：

Wavelength/波長	213 nm
Average power/平均功率	100mW
Pulse duration/脈寬	typ 6-8 ns
Energy per pulse/單脈沖能量	10µJ
Repetition rate/重復頻率	1-15 kHz
beam quality/光斑質(zhì)量	M2 < 1.6
Spectral bandwith/譜寬	< 100 MHz

深紫外單縱模激光器產(chǎn)品特點：

光譜帶寬

光斑質(zhì)量

深紫外單縱模激光器產(chǎn)品應用：

光譜儀校準
光刻
干涉測量
晶圓檢測
全息測量
光致發(fā)光

213nm深紫外單縱模激光器

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