| 品牌 | 昊量光電 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
H9/H9M 白光干涉表面輪廓儀
Heliotis H9/H9M 均為工業(yè)級白光干涉（WLI）3D 表面輪廓儀，基于低相干寬帶光在零光程差附近形成高對比度條紋，通過 Z 軸掃描與像素級相干峰 / 相位解包裹重構(gòu) 3D 形貌，實(shí)現(xiàn)非接觸、納米級精度測量。H9/H9M 白光干涉表面輪廓儀
HeliInspect™ H9 結(jié)合了大型測量場和高高度分辨率。其堅(jiān)固設(shè)計(jì)、長工作距離和靈活的軟件集成使其成為大型組件串聯(lián)測試的理想解決方案，涵蓋在線、在線和離線。
對于那些常規(guī)傳感器已無法滿足需求的應(yīng)用場景，heliInspect™ H9 和 H9M 能憑借的亞微米級高度分辨率脫穎而出。這些屬于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)級別的白光干涉儀之所以，是因?yàn)樗鼈儾捎昧?Heliotis 的下一代 3D 像素傳感器 heliSens™ S4 和 S4M。
白光干涉儀H9/H9M應(yīng)用場景：
半導(dǎo)體：芯片鍵合、TSV、微凸點(diǎn)、再分布層（RDL）共面度、薄膜厚度。
MEMS：微結(jié)構(gòu)、諧振器、封裝共面度、高深寬比結(jié)構(gòu)形貌。
光學(xué)元件：鏡片、棱鏡、光柵、晶圓表面面形與粗糙度。
精密制造：刀具、模具、涂層厚度與均勻性、微流控芯片。
醫(yī)療：植入物表面、生物組織形貌、微流控芯片結(jié)構(gòu)。
白光干涉儀H9/H9M產(chǎn)品特點(diǎn)：
測量能力得到提升：
具有真正亞微米級精度的高度測量
歷史性的測量速度
在給定視場內(nèi) x、y 方向的分辨率更高
更高的場景內(nèi)動態(tài)范圍
大量的光學(xué)放大倍數(shù)
集成操作就像使用二維攝像機(jī)一樣簡單：
標(biāo)準(zhǔn) GenCAM 接口
攝像機(jī)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)功能服務(wù)
白光干涉儀H9/H9M技術(shù)特性與優(yōu)勢：
非接觸無損：適配軟 / 脆 / 高反 / 透明 / 低反樣品，無損傷風(fēng)險(xiǎn)。
高精度與高速兼顧：H9≈0.3 s，相位模式亞納米精度，滿足研發(fā)與產(chǎn)線需求。
大行程與高動態(tài)：40 mm 行程覆蓋大臺階；高動態(tài)范圍適配高低反射并存表面。
抗振魯棒：工業(yè)級設(shè)計(jì)，適合實(shí)驗(yàn)室與產(chǎn)線在線檢測。
自動化與易用性：自動對焦 / 尋紋 / 拼接，多區(qū)域批量測量，降低操作門檻。
軟件分析：自動計(jì)算高度、粗糙度、體積、角度等參數(shù)，支持報(bào)表導(dǎo)出（Word/Excel/PDF）。
型號定位與核心差異：
H9：標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)級，H8的性能升級，相位模式≤0.05 nm，單幀≈0.3 s，抗振更強(qiáng)，適合超精密研發(fā)與嚴(yán)苛產(chǎn)線。
H9M：H9 的 “高動態(tài) / 多波長" 版，低反 / 透明樣品測量更穩(wěn)，速度與精度兼顧。
多種視野范圍，兩種工作間距：
靈活的鏡頭選擇功能使得能夠根據(jù)不同的部件尺寸和需求進(jìn)行調(diào)整。
| 0.5× | 0.8× | 1× | 1.5× | 2× | 3× | |
| Field of view [mm × mm] | 24.6 × 26.1 | 15.4 × 16.3 | 12.3 × 13.1 | 8.2 × 8.7 | 6.1 × 6.5 | 0.26 × 0.2 |
| Optical resolution [µm] – H9 | 48 | 30 | 24 | 16 | 12 | 8 |
| Optical resolution [µm] – H9M | 24 | 15 | 12 | 18 | 6 | 4（*） |
| Working distance [mm] – Standard | 51 | 51 | 51 | 51 | 49 | 49 |
| Working distance [mm] – Long | 113 | 113 | 113 | 110 | ||
| Numerical aperture – Standard | 0.033 | 0.053 | 0.067 | 0.10 | 0.13 | 0.15 |
| Numerical aperture – Long | 0.033 | 0.053 | 0.067 | 0.11 |
白光干涉儀H9/H9M產(chǎn)品參數(shù)：
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關(guān)于昊量光電：
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昊量光電擁有的專家級的軟硬件開發(fā)團(tuán)隊(duì)及豐富的行業(yè)應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，可提供：
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? 定制化解決方案——從售前咨詢到安裝，培訓(xùn)，系統(tǒng)集成等，滿足多樣化需求；
? 客戶高度認(rèn)可——服務(wù)案例覆蓋眾多頭部企業(yè)及科研機(jī)構(gòu)，客戶滿意度持續(xù)居前列。
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